Le suivi des FOUP lors de la fabrication de semi-conducteurs est important pour contrôler la contamination, optimiser les processus, améliorer le rendement, contrôler la qualité et assurer la conformité. Il garantit la protection des wafers, optimise le flux de travail, améliore le rendement et maintient la qualité.
Application : traçabilité des FOUP
Suivre efficacement les FOUP peut s'avérer difficile lors de la fabrication de semi-conducteurs, du fait de la complexité de gérer de nombreux FOUP, de gérer de grandes quantités de données, d'assurer l'intégration aux systèmes existants, de maintenir la précision de l'automatisation, de gérer les facteurs environnementaux et de respecter les normes de l'industrie.
Notre solution : utilisation de la RFID pour une traçabilité complète des processus
La technologie RFID d'OMRON offre des fonctionnalités spécialisées pour les applications de semi-conducteurs, notamment la résistance chimique, la compatibilité avec les transpondeurs standard en verre de Texas Instruments (lecture et écriture) et la prise en charge du protocole SECS I/II.
Cette solution avancée prend en charge cinq normes SEMI et SECS/GEM, garantissant une manipulation cohérente des FOUP et des capsules lors de la fabrication de semi-conducteurs. Conçue pour la norme SEMI, cette technologie protège mieux les wafers, optimise le flux de travail et accroît le rendement et la qualité.
Technologies habilitantes
V640 SEMI
Les applications de semi-conducteurs exigent des caractéristiques particulières concernant la résistance chimique et le protocole pour les systèmes d'identification. Le V640 d'OMRON est capable de fournir à la fois, par exemple, une communication avec des transpondeurs standard en verre de Texas Instruments et le protocole SECS I/II.
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Système RFID à utiliser dans différentes applications à semi-conducteurs (FOUPS & pods)
Les applications à semi-conducteurs nécessitent des caractéristiques particulières en termes de résistance chimique et de protocole pour les systèmes d'identification. Le V640 d'Omron offre des communications avec les transpondeurs standard de Texas Instruments ainsi qu'un protocole SECS I/II.
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