Application : régulation de la température de surface des wafers

L'environnement de la destination d'expédition de l'équipement diffère et il faut à nouveau effectuer des réglages PID sur site. Un réglage PID étant requis pour chaque type de pièce, tout changement s'avère chronophage.

Notre solution : une régulation modulaire avancée de la température

Notre unité de régulation de la température NX-TC libère les sites de production des tâches coûteuses de mise en service et de réglage. Elle détecte les changements de conditions susceptibles d'affecter la qualité, comme le ferait un travailleur qualifié, et effectue automatiquement des réglages PID pour assurer une régulation de la température maintenant en permanence des conditions optimales.

Grâce à la technologie de « régulation adaptative » intégrée à ce produit, les valeurs PID optimales sont calculées automatiquement pour le démarrage et le déroulement d'une production stable. De surcroît, il est possible de surveiller l'état de la régulation de la température de la machine pour régler automatiquement la valeur PID et ainsi obtenir une régulation de température optimale en cas de changements, par exemple au niveau des pièces et des machines.

Application : régulation précise de la température même en cas de perturbations

Du fait de la mise sous boîtier avancée et de la haute intégration des semi-conducteurs, une régulation rigoureuse de la température est devenue indispensable. Les perturbations courantes font fluctuer la température, avec un impact sur la qualité. Le temps d'attente jusqu'à la stabilisation de la température après une variation, causée par des perturbations courantes, nuit à l'amélioration des capacités de production.

Notre solution : une régulation avancée de la température

La fonction de suppression des perturbations est une fonction de contrôle qui supprime automatiquement les variations de température susceptibles de survenir lors de perturbations prévisibles. Les signaux de déclenchement transmis au régulateur de température avant que ces perturbations ne se produisent activent la fonction, qui opère un ajout ou une soustraction au niveau de la variable modulée (MV). L'autoréglage en cas de perturbations règle automatiquement la MV FF (commande prédictive), le temps de fonctionnement FF et le temps d'attente FF.

Les unités de régulation de température NX-HTC et NX-TC fournissent un contrôle automatique stable pour les variations de température prévisibles, par exemple celles dues à l'infiltration d'air extérieur lorsque les portes sont ouvertes et fermées. Les systèmes NX-HTC et NX-TC contribuent à améliorer la qualité et à augmenter les capacités de production en réduisant le délai jusqu'à la stabilisation de la température.