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À mesure que les structures des dispositifs deviennent plus complexes, un contrôle ultra-rapide et de haute précision s'impose. Le contrôleur multi-axes programmable (PMAC) est très prisé pour les technologies de production avancées qui exigent des réponses ultra-rapides, comme les équipements de fabrication de semi-conducteurs. OMRON optimise l'équipement pour la fabrication de semi-conducteurs avec des capacités de contrôle d'axes exceptionnelles.

Application : scellage de puces/saisie et mise en place

Plus l'épaisseur d'une pièce cible diminue, plus elle risque d'être endommagée au contact du substrat. D'autre part, il devient difficile de maintenir une opération de scellage à haute vitesse pour éviter une telle situation.

Notre solution : un contrôleur de machine avancé

La gamme de produits PMAC, assurant la compatibilité multi-fournisseurs ouverte, permet de concevoir une solution de contrôle contribuant à réduire l'impact du contact de la puce et à obtenir un contrôle stable avec des moteurs à réponse élevée via des calculs ultra-rapides.

Commutation fluide entre les modes de contrôle d'axe (position/vitesse/couple) avec des cycles de contrôle ultra-rapides (16,6 μs-) et application d'algorithmes uniques pour obtenir une vitesse et une stabilité de charge élevées lors du scellage.

Technologies habilitantes

Commande de poussée stable à faible charge

Réduit l'impact du contact de la puce et permet un contrôle stable des moteurs à réponse élevée via un calcul ultra-rapide.

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